WF6 ಅನ್ನು ಮುಖ್ಯವಾಗಿ ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ಸ್ ಉದ್ಯಮದಲ್ಲಿ ಲೋಹದ ಟಂಗ್‌ಸ್ಟನ್‌ನ ರಾಸಾಯನಿಕ ಆವಿ ಶೇಖರಣೆ (CVD) ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗೆ ಕಚ್ಚಾ ವಸ್ತುವಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ. WF6 ನಿಂದ ತಯಾರಿಸಿದ WSi2 ಅನ್ನು ದೊಡ್ಡ ಪ್ರಮಾಣದ ಇಂಟಿಗ್ರೇಟೆಡ್ ಸರ್ಕ್ಯೂಟ್‌ಗಳಲ್ಲಿ (LSI) ವೈರಿಂಗ್ ವಸ್ತುವಾಗಿ ಬಳಸಬಹುದು ಮತ್ತು ಅರೆವಾಹಕ ವಿದ್ಯುದ್ವಾರಗಳಿಗೆ ಕಚ್ಚಾ ವಸ್ತುವಾಗಿಯೂ ಬಳಸಬಹುದು, ರಾಸಾಯನಿಕ ಏಜೆಂಟ್‌ಗಳಿಗೆ ಫ್ಲೋರಿನ್ ಕಚ್ಚಾ ವಸ್ತುಗಳು, ಪಾಲಿಮರೀಕರಣ ವೇಗವರ್ಧಕಗಳು, ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ವಸ್ತುಗಳು ಇತ್ಯಾದಿ.